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发明名称 HERSTELLUNG EINES HALBLEITERGRUNDMATERIALS.
摘要
申请公布号 DE3886537(D1) 申请公布日期 1994.02.03
申请号 DE19883886537 申请日期 1988.06.14
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, D-8552 HOECHSTADT, DE;KAMMERMAIER, JOHANN, D-8025 UNTERHACHING, DE;SCHULTE, ROLF, D-8520 ERLANGEN, DE;WINNACKER, ALBRECHT, D-8520 ERLANGEN, DE;RITTMAYER, GERHARD, D-8520 ERLANGEN, DE
分类号 C23C16/26;H01L21/365;H01L29/16;(IPC1-7):H01L29/16 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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