发明名称 Laser-Markierungs-Vorrichtung und Verfahren.
摘要
申请公布号 DE3882393(T2) 申请公布日期 1994.02.03
申请号 DE19883882393T 申请日期 1988.03.01
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KUWABARA, KOUJI, HITACHI-SHI, JP;YANO, MAKOTO, HITACHI-SHI, JP;UMEDA, TAKAO, MITO-SHI, JP
分类号 B23K26/06;B44B7/00;G02F1/13;H01L21/00;H01S3/106;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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