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摘要
申请公布号 JPH069197(B2) 申请公布日期 1994.02.02
申请号 JP19900066270 申请日期 1990.03.16
申请人 HANDOTAI ENERGY KENKYUSHO 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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