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发明名称
摘要
申请公布号 JPH069241(B2) 申请公布日期 1994.02.02
申请号 JP19870220634 申请日期 1987.09.02
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TERAKADO TOMOJI
分类号 H01L27/15;H01L27/095;H01L27/14;H01L27/146;H01L29/80;H01L31/10;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):H01L27/146 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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