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发明名称
摘要
申请公布号 JPH068511(B2) 申请公布日期 1994.02.02
申请号 JP19850021065 申请日期 1985.02.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKABASHI MASAKO;TAKEDA HIROMITSU;SHIROKANE MAKOTO
分类号 C23C22/02;C23C10/30;C23C24/08;C23C26/00;(IPC1-7):C23C24/08 主分类号 C23C22/02
代理机构 代理人
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