金刚石-铂薄膜型电极

摘要

本实用新型金刚石-铂薄膜型电极，属于通过测试电化学变量测试或分析材料，特别是生物物质用的测试电极，其特征在于避免使用钛或铬过渡层而形成硅衬底——金刚石薄膜——铂薄膜和银薄膜结构。铂工作电极可制成微阵列结构以提高响应电流。衬底硅片也可剥离制成超薄型电极。本实用新型响应电流大，化学稳定性好，寿命长，工艺与微电子工艺相容，在临床医学、食品工业及生化、生物工程中可广泛使用。

主权项

1、一种金刚石-铂薄膜型电极，包括硅片衬底、铂工作电极和对电极、银参比电极，本实用新型的特征在于衬底硅片上有一金刚石薄层，工作电极和对电极的铂薄膜和参比电极的银薄膜制在金刚石薄膜上，电极之间由氮化硅相互绝缘。