发明名称 半导体密封用之树脂片剂,其制法及使用该剂以制造半导体装置之方法
摘要 揭示一种由冷却并固化熔融树脂组成物所得之半导体密封用之树脂片剂。片剂具有之压缩率不低于98%且金属杂质含量为低于50ppm,较好是黏附其上具有250筛孔或以下之细粉之量基于片剂被控制在0.05重量%以下且水含量被控制在0.1重量%以下。
申请公布号 TW220009 申请公布日期 1994.02.01
申请号 TW081107361 申请日期 1992.09.18
申请人 日东电工股份有限公司 发明人 木村祥一;金井真一;朝尾浩幸;樽野友浩;豊田良雄
分类号 H01L23/28;H01L23/29 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1﹒一种具有压缩率不低于98%及金属杂质含 量低于50ppm之密封半导体之树脂片剂, 其系藉冷却并固化熔融树脂组成物而被获 得者。 2﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中黏 附至该片剂之具有250筛孔或以下之细粉 之量基于片剂为低于0﹒95重量%者。 3﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂具有水含量低于0﹒1重量%者。 4﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂具有外径不超过20mm及长度对外径比 为不低于1者。 5﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂具有外径为不低于30mm及长度对外径 比为不超过1者。 6﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂系由多个由黏着或熔合所层合,各具 有外径不低于20mm及长度对外径比为不超 过1之片剂所组成者。 7﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂为一具有外径为不低于20mm及内径为 不超过20mm之中空片剂者。 8﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 片剂为一具有外径为不低于20mm及内径为 不超过20mm之中空片剂,其中空处包含一 黏着或熔合之固体物者。 9﹒如申请专利范围第1项树脂片剂,其中该 树脂组成物为环氧树脂组成物者。 10﹒一种半导体密封用之片剂之制法,该片 剂具有压缩率为不低于98%及金属杂质含 量为低于50ppm,其包含将熔融状态之树 脂组成物馈入一压片模及加压模制树脂组 成物者。 11﹒一种半导体密封用之片剂之制法,该片 剂具有压缩率为不低于98%及金属杂质含 量为低于50ppm,其包含在捏练挤制机内 熔融树脂组成物,将熔融树脂组成物藉该 捏练挤制机之挤压力馈入压片模内及加压 模制树脂组成物者。 12﹒如申请专利范围第10项制法,其中熔融 树脂组成物系利用防震器在恒定进给压力 下被馈入者。 13﹒如申请专利范围第11项制法,其中熔隔 树脂组成物系利用防震器在恒定进给压力 下被馈入者。 14﹒如申请专利范围第10项制法,其中该加 压模制系在冷却时实施者。 15﹒如申请专利范围第11项制法,其中该加 压模制系在冷却时实施者。 16﹒如申请专利范围第10项制法,其中该树 脂组成物为环式树脂组成物者。 17﹒如申请专利范围第11项制法,其中该树 脂组成物为环氧树脂组成物者。 18﹒一种半导体装置之制法,其包含用一具 有压缩率为不低于98%及金属杂质含量为 低于50ppm之树脂片剂(其藉转移模制冷 却并固化熔融树脂组成物所得)密封半导 体晶片者。图示简单说明: 第1-4图各例示用来制造依照本发 明之树脂片剂之装置之例。
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