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发明名称 CVD FILM FORMING DEVICE AND PLASMA CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0625859(A) 申请公布日期 1994.02.01
申请号 JP19920183543 申请日期 1992.07.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAMAMOTO HIROSHI
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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