| 发明名称 |
INRICHTING EN WERKWIJZE VOOR HET BEHANDELEN VAN EEN PLAK HALFGELEIDER-MATERIAAL. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL9201211(A) |
申请公布日期 |
1994.02.01 |
| 申请号 |
NL19920001211 |
申请日期 |
1992.07.07 |
| 申请人 |
COBRAIN N.V. TE HEVERLEE, BELGIE. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/26;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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