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发明名称 DRY PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0625874(A) 申请公布日期 1994.02.01
申请号 JP19890298694 申请日期 1989.11.15
申请人 KINOSHITA HARUHISA;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KINOSHITA HARUHISA;MATSUMOTO OSAMU;SAKUMA HARUNOBU
分类号 C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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