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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH0623218(A) 申请公布日期 1994.02.01
申请号 JP19920180734 申请日期 1992.07.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAWADA TASUKE;UCHIDA SHIGEHISA
分类号 B01D46/54;B01D53/22;F24F7/06;(IPC1-7):B01D46/54 主分类号 B01D46/54
代理机构 代理人
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