摘要 |
<P>On élimine un amorçage à la masse dans une torche à plasma RF en interposant un blindage métallique (50), relié à la masse, entre le jet de plasma et la bobine RF (32) qui fournit de l'énergie au plasma. Le blindage métallique consiste en un ensemble de segments allongés mutuellement espacés en direction périphérique, connectés ensemble à une extrémité et connectés au potentiel de la masse. Le blindage élimine pratiquement la capacité parasite répartie entre la bobine RF et le plasma, en interrompant le couplage par champ électrique entre la bobine et le plasma, et en dérivant le courant capacitif vers la masse.</P>
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