发明名称 Elimination de l'amorçage à la masse dans des torches à plasma RF.
摘要 <P>On élimine un amorçage à la masse dans une torche à plasma RF en interposant un blindage métallique (50), relié à la masse, entre le jet de plasma et la bobine RF (32) qui fournit de l'énergie au plasma. Le blindage métallique consiste en un ensemble de segments allongés mutuellement espacés en direction périphérique, connectés ensemble à une extrémité et connectés au potentiel de la masse. Le blindage élimine pratiquement la capacité parasite répartie entre la bobine RF et le plasma, en interrompant le couplage par champ électrique entre la bobine et le plasma, et en dérivant le courant capacitif vers la masse.</P>
申请公布号 FR2694153(A1) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 FR19890014591 申请日期 1989.11.07
申请人 GENERAL ELECTRIC CY 发明人 FRIND GERHARD
分类号 B65D5/52;B65D5/54;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/30;H05H1/34;H05H1/42 主分类号 B65D5/52
代理机构 代理人
主权项
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