| 发明名称 |
ROLLING BEARING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0621193(A) |
申请公布日期 |
1994.01.28 |
| 申请号 |
JP19920172723 |
申请日期 |
1992.06.30 |
| 申请人 |
NTN CORP |
发明人 |
KONDO HIROMITSU;YAMADA HIROSHI |
| 分类号 |
C04B41/82;C22C38/00;F16C33/32;F16C33/34;F16C33/62;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
C04B41/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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