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发明名称 MANUFACTURE OF ULTRATHIN PIEZOELECTRIC RESONATOR MATERIAL PLATE
摘要
申请公布号 JPH0621740(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920200351 申请日期 1992.07.03
申请人 TOYO COMMUN EQUIP CO LTD 发明人 ISHII OSAMU
分类号 H01L21/306;H03H3/02;H03H3/04;(IPC1-7):H03H3/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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