发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR AND ITS CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH0622562(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19910121371 申请日期 1991.05.27
申请人 HIGUCHI TOSHIRO;FUJITSU LTD 发明人 HIGUCHI TOSHIRO;EGAWA SAKU;SHINNO TOSHIKI;NATORI KATSUHIDE;TABATA FUMIO
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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