发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC WIRING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0620010(A) |
申请公布日期 |
1994.01.28 |
申请号 |
JP19920175254 |
申请日期 |
1992.07.02 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MITO HIDEKI;KAWAMURA KAORU |
分类号 |
H01L21/3205;G06F17/50;H01L23/52;(IPC1-7):G06F15/60;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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