| 发明名称 |
PLANAR MAGNETRON SPUTTER DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0621041(A) |
申请公布日期 |
1994.01.28 |
| 申请号 |
JP19920050918 |
申请日期 |
1992.03.09 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TSUKAGOSHI OSAMU;SUWA HIDENORI |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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