发明名称 THIN FILM VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0620957(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920198974 申请日期 1992.07.03
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KUBOTA KIYOSHI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C30B25/02;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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