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发明名称 MANUFACTURE OD SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0621444(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920195987 申请日期 1992.06.30
申请人 NEC CORP 发明人 SARUWATARI MASARU
分类号 H01L29/43;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/62 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
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