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发明名称 BOARD CARRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0621191(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920125097 申请日期 1992.05.18
申请人 PLASMA SYST:KK 发明人 KATSURA TOSHIMI
分类号 B65G49/06;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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