| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0620970(A) |
申请公布日期 |
1994.01.28 |
| 申请号 |
JP19920194951 |
申请日期 |
1992.06.29 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
WATANABE KAZUO;YAMAZAKI HAJIME;NAGATA KOICHI;NAGANO HITOSHI |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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