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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0621007(A)
申请公布日期
1994.01.28
申请号
JP19920174117
申请日期
1992.07.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
MIURA MASAO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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