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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号
JPH0620991(A)
申请公布日期
1994.01.28
申请号
JP19920177887
申请日期
1992.07.06
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OKA HIDEAKI
分类号
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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