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发明名称 PRODUCTION OF DIFFRACTION GRATING FORMING MOLD AND METHOD AND DEVICE FOR APPLYING PHOTORESIST
摘要
申请公布号 JPH0618711(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920171199 申请日期 1992.06.29
申请人 CANON INC 发明人 AKINO SHOJI
分类号 G02B5/18;G03F7/16;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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