发明名称 CONTACT MECHANISM OF HANDLER
摘要
申请公布号 JPH0618613(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920176349 申请日期 1992.07.03
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TANIGUCHI AKIRA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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