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发明名称 Vorrichtung mit Hochvakuumkammer.
摘要
申请公布号 DE68907565(T2) 申请公布日期 1994.01.27
申请号 DE1989607565T 申请日期 1989.11.16
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 PFEIFFER, LOREN NEIL, MORRISTOWN NEW JERSEY 07960, US;WEST, KENNETH WILLIAM, MENDHAM NEW JERSEY 07945, US
分类号 B01J3/00;B01D8/00;B01J3/02;B64G7/00;F04B37/08;H01L21/203;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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