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发明名称 Halbleitereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE4110331(C2) 申请公布日期 1994.01.27
申请号 DE19914110331 申请日期 1991.03.28
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KUROI, TAKASHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/322;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/265;H01L29/78;H01L21/336;H01L21/72 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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