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发明名称 Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE4324481(A1) 申请公布日期 1994.01.27
申请号 DE19934324481 申请日期 1993.07.21
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARADA, MASANA, ITAMI, HYOGO, JP;TSUKAMOTO, KATSUHIRO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/331;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/72 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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