发明名称 Vorrichtung zum mechanischen Planpolieren.
摘要
申请公布号 DE68911456(D1) 申请公布日期 1994.01.27
申请号 DE1989611456 申请日期 1989.08.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 LEACH, MICHAEL ALBERT, BRISTOL VERMONT 05443, US;MACHESNEY, BRIAN JOHN, BURLINGTON VERMONT 05401, US;PAULSEN, JAMES KONRAD, UNDERHILL VERMONT 05489, US;VENDITTI, DANIEL JOHN, ESSEX JUNCTION VERMONT 05452, US;WHITAKER, CHRISTOPHER ROBERT, JERICHO VERMONT 05465, US
分类号 B24B7/16;B24B7/22;B24B37/08;(IPC1-7):B24B37/04;H01L21/00 主分类号 B24B7/16
代理机构 代理人
主权项
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