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发明名称
摘要
申请公布号 EP0444465(A3) 申请公布日期 1994.01.26
申请号 EP19910101924 申请日期 1991.02.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DESOUZA, JOEL P.;GREINER, JAMES H.;SADANA, DEVENDRA K.
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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