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发明名称
摘要
申请公布号	JPH067629(B2)	申请公布日期	1994.01.26
申请号	JP19850100027	申请日期	1985.05.11
申请人	SONY CORP	发明人	SAKAMOTO MASAMICHI
分类号	H01L21/365;H01S5/00;H01S5/028;(IPC1-7):H01S3/18	主分类号	H01L21/365
代理机构		代理人
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