发明名称 Method of producing compound semiconductor single crystal.
摘要
申请公布号 EP0355833(B1) 申请公布日期 1994.01.26
申请号 EP19890115642 申请日期 1989.08.24
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 KAISE, TUNEYUKI SAKURAGAOKA-DORMITORY;MATSUMOTO, HAZIME;IKEDA, JUN SHINPU-DORMITORY
分类号 C30B15/00;C30B27/02;C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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