| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL PULLING UP DEVICE AND PULLING UP METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0616492(A) |
申请公布日期 |
1994.01.25 |
| 申请号 |
JP19920173472 |
申请日期 |
1992.06.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SASA KOICHI;ATAMI TAKASHI;ONO NAOKI |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B15/10;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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