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发明名称 PRODUCTION OF PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0618345(A) 申请公布日期 1994.01.25
申请号 JP19920175311 申请日期 1992.07.02
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 FURUTA KAZUYOSHI
分类号 G01L9/12;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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