| 发明名称 |
HIGH-EFFICIENCY AC MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0617247(A) |
申请公布日期 |
1994.01.25 |
| 申请号 |
JP19920197730 |
申请日期 |
1992.07.01 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
HARANO TAKESHI;TAKAGI SATORU;SUZUKI KOICHI |
| 分类号 |
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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