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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR940000498(B1) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 KR19900022373 申请日期 1990.12.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. 发明人 YAMADA, YUICHIRO;MATSUSHITA, YOSHINARI;TSUTSUI, YUJI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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