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发明名称 GROWING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0613328(A) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 JP19920170604 申请日期 1992.06.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYAGAKI SHINJI
分类号 C23C16/46;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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