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发明名称 METHOD OF DIFFUSING IMPURITIES INTO SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 KR940000500(B1) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 KR19850007506 申请日期 1985.10.12
申请人 SONY CORP. 发明人 WADA, MASARU;GATO, YOJI
分类号 H01L21/22;H01L21/033;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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