PLASMA GENERATING METHOD AND GENERATING DEVICE,申请号JP19920167177-传众专利搜索

发明名称	PLASMA GENERATING METHOD AND GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0613196(A)	申请公布日期	1994.01.21
申请号	JP19920167177	申请日期	1992.06.25
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	NAKAYAMA ICHIRO;NOMURA NOBORU;TAMAOKI NORIHIKO;OKUNI MITSUHIRO;KUBOTA MASABUMI
分类号	H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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