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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0613467(A) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 JP19920166442 申请日期 1992.06.24
申请人 YAMAHA CORP 发明人 TAHASHI ICHIRO
分类号 H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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