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发明名称 MTHOD OF PHOTOCHEMICAL SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号 KR940000497(B1) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 KR19850008241 申请日期 1985.11.05
申请人 HITACHI LTD. 发明人 MURAYAMA, SEIICHI;TSUCHI, KANJI;JIMA, YUSUKE
分类号 H01L21/302;C23C16/04;C23C16/48;C23F1/02;C23F1/12;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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