| 发明名称 |
LIQUID PHOTOSENSITIVE RESIST COATING METHOD FOR BUMP FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0613304(A) |
申请公布日期 |
1994.01.21 |
| 申请号 |
JP19920191472 |
申请日期 |
1992.06.25 |
| 申请人 |
TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK |
发明人 |
NISHIMORI TAKASHI |
| 分类号 |
B05D1/40;H01L21/027;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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