| 发明名称 |
DEVICE FOR WORKING WITH FOCUSED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0613013(A) |
申请公布日期 |
1994.01.21 |
| 申请号 |
JP19920194901 |
申请日期 |
1992.06.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAKAMURA TAKAO;IIYAMA MICHITOMO |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/20;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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