发明名称 ION SOURCE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH0612995(A) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 JP19920169719 申请日期 1992.06.26
申请人 JAPAN ATOM ENERGY RES INST 发明人 OKUMURA YOSHIKAZU;WATANABE KAZUHIRO
分类号 H01J27/02;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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