发明名称 Kapazitive Einrichtung zur absoluten Positionsmessung.
摘要
申请公布号 DE69003493(T2) 申请公布日期 1994.01.20
申请号 DE19906003493T 申请日期 1990.06.22
申请人 MITUTOYO CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NILS, ANDERMO, I., KIRKLAND, WASHINGTON 98033, US
分类号 G01D5/12;G01B7/00;G01D5/24;G01D5/241;(IPC1-7):G01D5/24 主分类号 G01D5/12
代理机构 代理人
主权项
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