| 摘要 |
<p>Procédé permettant de souder une cible (5) de pulvérisation cathodique sur un élément ou une plaque (7) de support destiné à être ensuite utilisé dans un processus de pulvérisation cathodique. On utilise tout d'abord une cible (5) et une plaque (7) de support et on mouille respectivement une face de ces dernières (5 et 7) avec du métal de brasage. On plonge ensuite la cible (5) et la plaque (7) de support dans un bain de brasage (11) et les faces mouillés de la cible (5) et de la plaque (7) de support sont pressées l'une contre l'autre de manière à se toucher. On sort ensuite la cible (5) et la plaque (7) de support du bain de brasage (11) et, tout en les maintenant pressées l'une contre l'autre, on refroidit directionnellement l'interface (15) de brasage située entre la cible et la plaque de support de sorte que le refroidissement se produise d'abord au centre de l'interface (15) de brasage puis se propage radialement vers l'extérieur jusqu'à la périphérie. La partie la plus inférieure de la cible et de la plaque de support est pourvue d'une lèvre circonférentielle (6) adjacente à la périphérie de l'interface (15) de brasage. Lorsqu'on sort la cible (5) et la plaque (7) de support du bain (11) de brasage, la lèvre (6) sert à récupérer le matériau de brasage et forme un réservoir (20) pour ledit matériau de brasage, qui alimente en matériau de brasage la périphérie de l'interface (15) de brasage lorsque cette dernière (15) est refroidie.</p> |
