发明名称 Isolationsstruktur für eine integrierte Halbleiterschaltung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE4134547(C2) 申请公布日期 1994.01.20
申请号 DE19914134547 申请日期 1991.10.18
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIMURA, HIROSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76;H01L27/04;H01L21/74 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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