发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung mit Plasma.
摘要
申请公布号 DE3786840(T2) 申请公布日期 1994.01.20
申请号 DE19873786840T 申请日期 1987.05.20
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOKAKU, YUICHI, TOTSUKA-KU YOKOHAMA, JP;KITOH, MAKOTO, YOKOHAMA, JP;HONDA, YOSHINORI, FUJISAWA-SHI, JP
分类号 C23C14/02;B29C59/14;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):B29C59/14;B29C71/04;H01J37/32 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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