发明名称 BAKING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATING PROCESS
摘要
申请公布号 KR940000304(Y1) 申请公布日期 1994.01.19
申请号 KR19900022396U 申请日期 1990.12.31
申请人 DAEWOO ELECTRONIC COMPONENT CO., LTD. 发明人 BANG, JIN - HYOK
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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