发明名称 |
BAKING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATING PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR940000304(Y1) |
申请公布日期 |
1994.01.19 |
申请号 |
KR19900022396U |
申请日期 |
1990.12.31 |
申请人 |
DAEWOO ELECTRONIC COMPONENT CO., LTD. |
发明人 |
BANG, JIN - HYOK |
分类号 |
H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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