发明名称 POWER SOURCE DEVICE FOR CONTINUOUS VACUUM FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0610130(A) 申请公布日期 1994.01.18
申请号 JP19930059301 申请日期 1993.02.25
申请人 NKK CORP 发明人 SEKIGUCHI TAKESHI;UCHINO SHUZO;KAGECHIKA HIROSHI;KIBE HIROSHI;MUKAI TAKAMINE
分类号 C23C14/22;C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址